微位移平台铰链机构

技术特点：

l  中空设计，预留了光路通道。

l  全行程（100μm）引入的偏摆和倾斜误差小于1″（PV）。

l  单层一体式铰链机构实现XY方向同在一个水平面上进行调节。

l  电动机驱动，结合电容传感器获得优于0.2μm的定位精度。

l  驱动机构传动比大于20倍，能得到优于0.1μm的分辨率和0.2μm的最小运动距离。