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二维平移台和转台组合

平移台和转台在科研和工业领域应用越来越多。工业自动化应用的平移台和转台可靠性高但精度低;科研仪器中,涉及到定位、测量、扫描等功能的平移台和转台要求比工业应用高。 二维平移台为带独立承载机构的高直线度平移台。转台为密珠轴系精密转台。
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平移台和转台在科研和工业领域应用越来越多。工业自动化应用的平移台和转台可靠性高但精度低;科研仪器中,涉及到定位、测量、扫描等功能的平移台和转台要求比工业应用高。



实现了承重和导向分离。

导向机构受力恒定,变形更小,精度更高。

负载移动时,承重机构跟随移动。

与传统的平移台相比,相同负载下具备更高的稳定性。负载变化较大时,运动直线性变化更小。

Z轴密珠轴系,轴线偏摆低至1角秒。

承重高达60Kg时,性能仍然稳定。


高负载、长行程应用环境

对运动直线性要求更高的应用场合

真空无油环境

对润滑剂有破坏的环境,比如紫外深紫外光曝光机承片台

精密测试平台



总体指标

       XY向二维平移台主要指标(带负载测试)


          Z轴转台主要指标(带负载测试)











 


 
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